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硅單晶電阻率標準標準物質 MKY2279

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硅單晶電阻率標準標準物質 MKY2279

GBW13701—GBW13708是參照原美國NBS（現(xiàn)為NIST）的標準，以硅為原材料，通過特殊工藝研制而成的標稱值不同的一套硅單晶電阻率標準片。本標準物質一般用于檢定和校準制造和使用中的電阻率（方阻）測試儀。GBW13709—GBW13710則是用于校準擴展電阻測量系統(tǒng)的標準片。
電阻率樣片規(guī)格一般為直徑2英寸（51mm）— 4英寸（100mm），厚度500?m—650?m的圓片（Wafer），包裝為帶標簽的標準幣式單片晶圓包裝盒。擴展電阻樣片規(guī)格一般為3mm×5mm矩形薄片，包裝為帶標簽的獨立自封袋。

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GBW13701—GBW13708是參照原美國NBS（現(xiàn)為NIST）的標準，以硅為原材料，通過特殊工藝研制而成的標稱值不同的一套硅單晶電阻率標準片。本標準物質一般用于檢定和校準制造和使用中的電阻率（方阻）測試儀。GBW13709—GBW13710則是用于校準擴展電阻測量系統(tǒng)的標準片。
電阻率樣片規(guī)格一般為直徑2英寸（51mm）— 4英寸（100mm），厚度500?m—650?m的圓片（Wafer），包裝為帶標簽的標準幣式單片晶圓包裝盒。擴展電阻樣片規(guī)格一般為3mm×5mm矩形薄片，包裝為帶標簽的獨立自封袋。

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